但金刚石有三个显著短板:生长速度慢、能耗高,制造成本居高不下;再者,金刚石是电绝缘体,加入电气路径时需要多一道工艺;最后,作为已知最硬的材料,对金刚石进行切割、抛光、打孔都极其困难,与硅工艺的兼容性偏...[查看全文]

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